一、核心連接順序（不可顛倒）

二、關(guān)鍵組件與選型要求

1. 管路與接頭

• 材質(zhì)：必須用 316L/304 不銹鋼 低溫高壓金屬軟管 / 硬管，耐壓 ≥ 系統(tǒng)工作壓力 1.5 倍
• 接頭：匹配杜瓦罐（常用 CGA350、24×2、27×2）、流量計(jì)、氣瓶（G5/8 等），用卡套 / 快插 / 法蘭，密封墊用聚四氟乙烯 / 金屬纏繞墊
• 保溫：全管路包裹低溫保溫棉，防止結(jié)霜、汽化過(guò)快

2. 核心功能組件

• 低溫減壓閥：將杜瓦罐壓力（通常 1.4–2.0 MPa）降至氣瓶安全壓力（≤ 氣瓶工作壓力 80%）
• 管道過(guò)濾器：裝在流量計(jì)上游，過(guò)濾精度 ≥ 50 μm，防雜質(zhì)損壞流量計(jì)與氣瓶閥
• 液氮流量計(jì)：選低溫型質(zhì)量 / 渦輪 / 靶式流量計(jì)，滿足 -196℃ 工況；前直管段 ≥ 10d、后 ≥ 5d，按流向箭頭安裝
• 氣化器：必須加裝，將 -196℃ 液氮?dú)饣癁槌氐獨(dú)猓ǔ鰵?≥ 5℃），嚴(yán)禁液態(tài)直接進(jìn)氣瓶
• 安全閥：裝在氣化器出口 / 流量計(jì)下游，設(shè)定壓力為氣瓶工作壓力 1.1 倍，超壓自動(dòng)泄壓

三、安裝操作步驟

1. 準(zhǔn)備與檢查
• 杜瓦罐、氣瓶直立固定，所有閥門關(guān)閉
• 核對(duì)組件耐壓、低溫適配性，工具用低溫專用扳手、扭矩扳手
• 靜電接地連接良好
2. 管路連接（按順序）
• 杜瓦罐液相閥 → 減壓閥 → 過(guò)濾器 → 流量計(jì) → 氣化器 → 安全閥 → 氣瓶入口
• 接頭按標(biāo)準(zhǔn)扭矩?cái)Q緊（如 CGA350 約 25–30 N?m），避免過(guò)緊損傷密封面
3. 預(yù)冷與檢漏（關(guān)鍵）
• 緩慢開(kāi)杜瓦罐增壓閥，使罐壓升至輸送壓力（＜?xì)馄抗ぷ鲏毫?80%）
• 微開(kāi)液相閥，少量液氮預(yù)冷管路 5–10 秒，排空氣、防結(jié)冰
• 用檢漏液檢查所有接頭，無(wú)氣泡方可繼續(xù)
4. 正式供氣 / 充裝
• 先開(kāi)氣瓶閥，再緩慢開(kāi)流量計(jì)下游閥，控制流速
• 監(jiān)控壓力、流量，氣瓶嚴(yán)禁超壓、超裝（≤ 容積 90%）

四、安全與維護(hù)要點(diǎn)

• 嚴(yán)禁：液態(tài)液氮直接進(jìn)氣瓶；普通鋼管 / 塑料管替代低溫不銹鋼；強(qiáng)行拆裝、超壓運(yùn)行
• 維護(hù)：定期檢漏、校驗(yàn)流量計(jì)與安全閥；管路保溫完好，防凍堵

• 應(yīng)急：泄漏立即關(guān)閥、通風(fēng)，人員撤離至上風(fēng)處